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uKSA系列超高精密電動平移臺，按照行程分為50、100、150、200mm 等四款產(chǎn)品，是卓立漢光開發(fā)的新型電移臺，該系列電移臺技術(shù)指標達到水平。如：閉環(huán)分辨率0.1μm，每100mm 行程，直線度、平直度小于6μm。該系列產(chǎn)品配合卓立的MC6003P 或TMC-USB 系列控制器，定位于超高精度要求的領(lǐng)域應(yīng)用，如：超精密的激光加工、超精密的三維掃描測量等。
uKSA系列超高精密電動平移臺特點：
1.加厚鋁合金底座，基準面精密磨削，保證整體性能穩(wěn)定
2.內(nèi)置進口超高精密光柵尺，閉環(huán)分辨率可達0.1μm
3.采用進口超高等級滾珠絲杠，可實現(xiàn)超高定位精度
4.采用進口超高等級交叉滾柱導(dǎo)軌，具有超高運動性能
5.標配三相步進電機，有效降低電移臺運行時的振動和噪音
選型表
| 型號 | uKSA50 | uKSA100 | uKSA150 | uKSA200 | |||||
| 行程(mm) | 50 | 100 | 150 | 200 | |||||
| 滾珠絲杠導(dǎo)程(mm) | 4 | ||||||||
| 電機型號 | FHB366-D(三相) | ||||||||
| 閉環(huán)分辨率(μm) | 0.1 | ||||||||
| zui大速度(mm/s) | 40 | ||||||||
| 重復(fù)定位精度(μm) | ＜2 | ||||||||
| 回程間隙(μm) | ＜1 | ||||||||
| 運動直線度(μm) | ＜6 | ＜10 | |||||||
| 運動平直度(μm) | ＜6 | ＜10 | |||||||
| 自重(Kg) | 8.5 | 10.5 | 13.5 | 15 | |||||
| 中心負載(Kg) | 30 | ||||||||
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